第263章 华清大学的光刻机（1/2）

第263章 华清大学的光刻机

华清大学，精密仪器系大楼，一楼。

整个一楼，都被建设成为了精密光学仪器加工工厂，在内部被称为9003实验基地，而华清大学的光刻机，就是在这里诞生的。

大年初三，已经到了上班的时间，大楼里人来人往。

一名瘦弱的中年人，走进了9003实验基地的办公室，刚刚想要换衣服，通过强力风道进入，开始一天的工作，就被人叫住了。

“老徐！”

徐教授扭头，看向叫自己的人，系主任沈钊，同时也是这个加工厂的厂长。

“老徐，走，先去会议室里开个会。”

“好。”

会议室内的气氛……有些不一样啊，刚刚过年回来，大家伙难道不应该是喜笑颜开的吗？怎么个个愁眉苦脸的样子？

“大家伙都到齐了，咱们开会。”沈主任开口：“昨天的时候，我去上面相关部门拜年，电子工业系统的领导说，我们的光刻机项目的研发经费，可能会……”

徐教授的心瞬间咯噔一下：“会怎么样？”

“会大大的缩减，毕竟……我们国家要搞经济建设，很多项目都要忍耐，我们的光刻机……到目前为止，就卖出去了两台，根本就无法支撑起来庞大的研发经费，所以……”

徐教授腾的一下子站了起来：“没错，国家是要搞经济建设，但是，我们光刻机，也是为了国家的经济建设服务的，我们能制造出来一流的芯片，那就意味着能获得大笔的利润，甚至能出口创汇！”

“是啊，道理是这个道理，但是现在……”沈主任有些无奈地开口：“现在，我们研发的光刻机，根本就没有单位采购，庞大的研发经费无法转化为生产力，所以……”

“哼，国内的很多企业，都希望能从国外采购，明明国外的设备还不如我们的先进！”徐教授恼火地说道：“78年之后……”

这是个让人愤怒的事情！

1960年，徐教授从华清大学毕业，之后就留校任教，再然后，在那个特殊的年代里，被下放到了鄱阳湖，在那边的农场里种水稻。

1971年的某一天，他被农场负责人半夜敲门，还以为自己要完了，没想到，是首都发来急电，让他回首都，有重要任务。

徐教授扔下了稻秧，来到了首都，才知道国家要研制半导体生产的关键设备：光刻机。

当时的他，还只是助教，就去参加这种重点项目，从此，就开始了造光刻机的历史，他永远都没有忘记，当时接受任务时候的激动心情，我们祖国的半导体产业，就寄托在我们身上！

华清大学调动了五个系，数百人的研发团队，开始了辛苦的攻关，从光刻机需要的氦-氖气体激光器的研制做起，到精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、控制计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等，所有的设备，都是自己设计自己制造。

就这样，东方第一台投影光刻机终于诞生！

光刻机刚刚诞生的时候，都是接触式光刻机，掩膜直接覆盖到硅片上，直至七十年代，美国perkin-elmer公司研制成功1:1投影式光刻机。

把光刻胶涂在硅片上，然后用光源照射，从而把该去掉的光刻胶通过光源给刻蚀掉。

最早用的是汞灯当光源，扫描台拖着硅片，和掩膜一起同步运动，光源通过狭缝变成均匀光，把图案投影到光刻胶上。

仅仅这个装置，就把芯片的良品率从百分之十提升到了百分之七十。

不过，由于要移动，所以个头比较大，结构很复杂，于是，后来美国的gca公司，又开始搞起来了分步重复精缩投影光刻机，掩膜和硅片不需要同步移动，同时物镜还能缩小倍率，这样掩膜版的制作难度大大降低。

这个东西诞生之后，光刻机的具体技术路线，就固定下来了，之后不断提升光源，改进技术，但是基本结构是不变的，除非是后世那种3纳米芯片需要的euv光刻机，其余的，都是这个结果。

徐教授他们开始研究之后，瞄准的就是投影式光刻机，前些年，这种光刻机已经研发成功，接下来，就应该再接再厉，研发分步投影的光刻机！

可惜，时代变了！

曾经重要的产品，已经能买到了！

这其中的转折，就是1978年，当时巴黎工业展览会，东方把光刻机送过去了，一番展览之后，西方知道东方能搞这种光刻机了，所以，不用搞什么禁售了。

己方的光刻机在巴黎工业展览会上展示了东方的技术水平，回来后，一个个说要买光刻机的单位，都不要了！

只有109厂采购了一台试用之外，就是9003基地里的那台了。

现在，他们还想要继续研制分步投影光刻机，上面已经犹豫了，不想给提供资金了！

早知道，78年的时候就不去参加展览了！但是……那是上级的命令，己方只能遵守，甚至，当时出国的人，没一个是光刻机的研发人员，在会议现场被问了个灰头土脸，甚至被质疑的假的，要求东方人把这光刻机带走。

眼看要丢人，才赶紧发电报，让徐教授匆匆过去，一番介绍，知无不言，才让外国人相信东方有这个技术！

想起那段历史来，徐教授就是一阵阵的愤怒。

现在，那些人居然还想要卡着他们的预算！

卖不出去，不是我们的原因！明明那些能从国外买回来的光刻机性能还比不上我们的，国内的很多电子厂，还是要去买外国的，他们不过就是想要找机会，出国去看看……

想到这里，徐教授握紧了拳头。

“老徐，你坐下，咱们今天开会，就是商量的，上面不支持，咱们华清大学也会自筹资金搞研发，只是毕竟资金不足，可能会慢一些。”

“按照咱们的计划，资金充足，再有一年就出来了，这样咱们和国外的光刻机差距，就能缩小到零！现在要是没了研发资金，可能会拖个三五年的时间……沈主任，咱们好容易追赶上来，不能再拖延啊！”

芯片行业，摩尔定律就是个魔咒！逼迫着研发人员们日夜不停，不断地研制先进技术。

一步落后，步步落后，现在如日中天的美国的光刻机公司，就是因为打不过岛国的光刻机产业，慢慢地衰落下去，而岛国的光刻机产业，又是被阿斯麦给终结的。

在后世，所有人都知道东方芯片产业落后，但是他们并不知道，其实在七八十年代，东方的芯片产业并没有落后太多，如果加大投资力度，像岛国、南棒子那样，把芯片产业当做主要产业来抓的话，绝对能发展起来的！

毕竟，咱们东方人是全世界最聪明的民族！

可惜啊！

带着这样的想法，走到了会议室门口的秦亮，深深地呼吸了一口气，然后推开了门。

“各位，有咱们西工大，咱们的芯片产业不会落后的！”

众人都是一愣，这谁啊，不认识啊！

不过，这青年身后的人，大家伙是认识的。

“林老，您怎么……”

“嗯，路过，就进来看看，听你们说，咱们这华清大学自研的光刻机，被一群有眼无珠的家伙给无视了，咱们是不会坐视不理的，亮子，把你的想法说说吧。”