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第1142章 最精密的学问(1/2)

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文化部后院。

一间不对外开放的会客室。

窗外是几竿翠竹,屋里只有两杯清茶。

钱院士坐在红木圈椅里,腰杆挺得笔直。

他看著对面的张红旗。

“那份报告,我看过了。”

老头声音不高,每个字都砸在桌上。

“写得很好,很有远见。”

“但是。”

老头话锋一转。

“光有远见,没用。”

“半导体,光子学,这是硬骨头,是天底下最精密的学问。”

“不是靠钱,靠想像力,就能搞出来的。”

他盯著张红旗的眼睛,一字一顿地问。

“你,一个拍电影的。”

“懂这些吗?”

这个问题,很尖锐。

甚至有点不留情面。

张红旗没接话。

他从隨身的公文包里,拿出一张纸。

一张摺叠起来的a3大小的绘图纸。

纸张边缘已经有些毛糙。

张红旗把纸,在桌上摊开。

推到钱院士面前。

那是一张手绘的草图。

用铅笔画的线条清晰,標註密集。

钱院士低头看去。

只一眼,他的目光就定住了。

图上画的是一个极其复杂的机器结构。

分成了四个核心模块。

张红旗的手指,在图上轻轻点过。

“光源。”

“物镜系统。”

“掩膜台。”

“硅片台。”

钱院士的呼吸,停了一下。

他当然认得出来这是什么。

这是光刻机的核心架构。

但让他心惊的不是这个架构图本身。

而是图上那些密密麻麻的手写的標註。

全是英文和德文的缩写,夹杂著公式和参数。

“光源:lpp-euv,功率要求大於250w,能量转换效率大於5%。”

“物镜:13片非球面反射镜,材料,ule玻璃,表面粗糙度小於0.1纳米。”

“掩膜台:磁悬浮,同步运动精度小於2纳米。”

钱院士的眼睛,越瞪越大。

这些参数,每一个,都像一颗子弹。

精准地打在他几十年的科研认知上。

国內现在连duv都还在理论摸索阶段。

这张图,直接跳到了euv。

而且,给出的指標,比他从国外老同学那里听到的最前沿的实验室数据,还要激进,还要精確。

这根本不是一份方案。

这是一份来自未来的施工图纸。

钱院士的手,下意识地伸过去。

想要抚摸那张图纸。

手指,却在半空中停住了。

有点抖。

他的视线,落在了图纸的一个角落。

那里画著一个反射镜组的截面图。

旁边有一行小字。

“mo/si多层膜反射镜,每层厚度3-4纳米,总层数大於80层。”

老头感觉自己的后脑勺,被人用锤子狠狠砸了一下。

多层反射镜。

这个概念,只在国际最顶级的几个光学实验室里,有过最模糊的设想。

连篇正式的论文都没有。

可这张图上,不仅有。

连材料,厚度,层数,都写得清清楚楚。

就像画图的人,亲手做出来过一样。

还没等他从震惊中缓过来。

他又看到了光源部分的另一条標註。

“等离子体激发高能光子。”

钱院士靠在椅背上。

半天没喘过气来。

他彻底明白了。

之前看的那份报告,还有那份嚇人的实验室建设方案。

背后,都有这张图的影子。

这不是外行人的异想天开。

这是內行到了极致,高到了云端之后的俯瞰。

“这些东西……”

老头的声音,有些乾涩。

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