第16章 研发进度（1/2）

不知不觉中，时光飞逝，春节眼看著临近了。

徐卫国今年肯定是没办法回家过年了，只好写了一封信寄回家，免得家里人担心。当然，他在干什么肯定是不能说的，只说自己要在学校多学点东西。

值得一提的是，徐卫国前不久已经拿到了京大的毕业证，並正式成为了科学院物理所的一员，果然是三级研究员。

月底，他还拿到了自己的第一笔工资，一百七十五元。

拿出一百块还给了张希德，剩下的钱他给自己买了几身內外衣服，转眼又花了个乾净。

好在他吃住都有公家管著，平时也基本不花什么钱。

除夕这天，徐卫国给团队所有人放了两天假，没日没夜的忙活了一个多月，春节再不让放鬆一下也实在说不过去。

毕竟，这项目並没有一个期限限制，没必要赶那么急。

左右也是无事，徐卫国乾脆又去了周家，借宿两天，算是把这个年给过了。

……

过完年，徐卫国又带领团队投入了紧张的研发过程中。

三月初，各项研发工作开始进入收穫期。

第一个完成的分项目是光刻胶，在进行大量实验后，团队先是成功製取出了苯乙烯-丁二烯共聚物（sbr），这是第一代光刻胶的主要成分。

仅仅一周后，他们又製取出甲基丙烯酸甲酯作为交联剂，解决了光刻胶易变黄的问题。至此，第一代光刻胶的研发工作正式完成。

第二个完成的分项目是扩散炉，它用於扩散工艺，作用是將杂质元素引入硅片以形成pn结或电阻等元件。

隨后，氧化设备，蒸发台、外延生长设备、研磨拋光设备等项目也相继完成研发。

到五月时，所有项目就只剩下光刻机还没有完成了。

而光刻机这个大系统中，所有分系统其实都已经做出来了，问题卡在精度上。

如果现有分系统直接组装起来投入使用，光刻机的定位精度將低於五微米，曝光图形精度（线宽）则在十微米级別，这个水平远远达不到徐卫国的预期，距离歷史上第一台商业化光刻机精度也差的太远。

徐卫国当然是不甘心拿个次品出来的，他寧愿把研发时间拉长，继续精雕细琢。

这一拖，就拖到了七月。

这天上午，晴空万里，徐卫国照例待在实验室，亲自参与光刻机的调试改进。

正忙著，实验室门口突然来人了。

却是所长严纪慈。