第208章 小芯AI检测曝光流程漏洞（1/2）

14nm量產线的euv曝光区內，修復后的三號光刻机刚刚完成第二批监控片的曝光工序。机械臂平稳地將晶圆盒传送到下一站，设备状態监控屏上所有参数都显示为绿色。如果不是角落里那台被替换下来的受损镜头还罩著防尘罩，这里几乎看不出二十四小时前曾发生过重大事故。

但在数据空间，一场看不见的攻防战正在进行。

“镜渊”系统已经上线运行七小时。张京京站在中央控制室的大屏前，看著左右两侧对比显示的数据流。左侧是真实的环境监测数据，温度22.4c、湿度41.8%、粒子计数0.3个/立方米、电力谐波畸变率2.7%；右侧是经过混淆处理后对外传输的数据流，数字微妙地不同：温度22.3c、湿度42.1%、粒子计数0.1个/立方米、电力谐波畸变率1.9%。

每一个差异都控制在测量误差允许范围內，但整体趋势被精心调整，呈现出一个“正在恢復但仍有轻微不稳定”的系统状態。

“诱饵数据捕获率？”张京京问站在操作台前的章晴。

“过去两小时检测到三次捕获事件。”章晴调出监控日誌，“时间分別是凌晨一点二十三分、两点四十七分、三点零五分。数据包都被发往相同的境外中转伺服器，加密协议相同。对方没有察觉到我们在注入诱饵。”

张京京看了眼墙上的时钟：三点十七分。距离他预测的攻击窗口还有四十三分钟到两小时四十三分钟。

“启动二级戒备。”他下达指令，“所有关键设备切换到双重监控模式。金博士那边怎么样了？”

梁志远从旁边的通讯台抬起头：“金工报告，『追光二期』euv光源已经进入特別防护状態，主动电磁屏蔽层全功率运行。他的团队监测到轻微的电磁背景噪声，但强度远低於触发閾值。”

“通知赵静博士，”张京京转向另一名工程师，“请『小芯』平台进入实时战备分析模式。我们需要它对所有工艺数据进行异常模式扫描，尤其是曝光流程相关数据。”

命令在加密网络中快速传递。三分钟后，控制室的大屏一角亮起“小芯ai平台在线”的標誌。一个柔和的女声通过扬声器传出：

“张博士，我是小芯。已接入製造执行系统，获取过去二十四小时全流程工艺数据。当前正在执行多维度异常检测，预计五分钟后完成初步分析。”

张京京微微点头。他相信赵静团队开发的这个ai平台，在智能汽车和医疗诊断领域的出色表现已经证明了它的能力。现在，是时候测试它在晶片製造这种极端精密场景下的表现了。

时间一分一秒流逝。控制室里只有设备运行的嗡鸣声和偶尔的键盘敲击声。十几名工程师各司其职，监控著不同系统的状態。

凌晨三点三十八分。

euv曝光区四號机台的操作员报告：“第二批次监控片曝光完成，正在传送至量测站进行线宽检测。”

按照流程，曝光后的晶圆会在十分钟內完成关键尺寸的在线测量，数据实时反馈到控制系统。如果线宽偏差超出规格，系统会自动调整后续曝光参数。

“量测站接收晶圆，开始扫描。”监控屏上显示进度条。

三点四十一分，量测完成。数据上传至製造执行系统。

几乎在同一时刻，“小芯”ai平台的声音再次响起：

“检测到异常模式。在euv曝光流程中，发现周期性的线宽偏差分布异常，周期约为8.7秒，偏差幅度在纳米级別，但具有统计显著性。”

大屏上自动调出了量测数据的热力图。上百个测量点的线宽数值以顏色编码显示，正常情况下应该呈现均匀分布，但现在出现了微弱的条纹状模式。

“8.7秒周期……”张京京皱眉，“这个时间常数对应什么设备参数？”

梁志远快速查阅设备手册：“euv光源的脉衝重复频率是5千赫兹，8.7秒对应约43500个脉衝周期。光刻机工作檯的扫描速度是每秒150毫米，8.7秒对应1.3米扫描距离，这刚好是单次曝光场的对角线长度。”

“也就是说，异常模式以曝光场为单位重复出现。”张京京明白了，“小芯，分析这种异常的可能原因。”

ai平台开始运行深度分析算法。屏幕上，数据流被分解成数十个维度：光源功率稳定性、照明均匀性、投影镜头畸变、工作檯定位精度、掩膜版形变、光刻胶灵敏度分布……

“排除光源因素。”小芯的声音平静而清晰，“过去一小时『追光二期』的功率稳定度维持在98.1%至98.3%，波动幅度不足以產生检测到的线宽偏差。”

“排除工作檯和掩膜版因素。”屏幕上相应的数据被標灰，“定位精度和形变监测数据均在规格范围內。”

“聚焦於投影镜头系统。”ai继续分析，“虽然镜头更换后已完成校准，但在特定扫描角度下，可能存在残余像差未被完全补偿。建议进行全视场像差映射测试以验证。”

张京京刚要下达测试指令，梁志远突然指著另一个监控屏：“等等，四號机台的冷却水温度曲线有异常波动。”

数据显示，在三点四十分到三点四十二分之间，光刻机冷却系统的出水温度发生了0.3摄氏度的周期性波动，波动周期，正是8.7秒。

“冷却水温度会影响镜头温度分布，进而改变光学性能。”张京京立即警觉，“检查冷却系统！”

设备工程师调出冷却系统的完整监控数据。水泵转速、流量、热交换器效率、阀门开度……一切看起来正常。但“小芯”ai已经开始了更深入的分析。

“检测到冷却水循环系统中的压力脉动。”ai报告，“频率0.115赫兹，对应8.7秒周期。脉动幅度为额定压力的±1.2%，在系统允许范围內，但可能通过热传递耦合影响镜头温度场。”

“什么原因导致压力脉动？”张京京问。

“正在分析。”ai接入冷却系统的所有传感器数据，开始构建流体动力学模型。

就在这时，墙上的环境监测大屏突然闪烁了一下。

不是屏幕故障，是真实的监测数据出现了瞬变。

“电磁场强度监测点em-07读数异常！”章晴的声音提高了一个度，“背景电磁场强度在0.2秒內上升了三个数量级，频率……1.2兆赫兹！”

攻击来了。比预测的最早时间提前了二十三分钟。