第362章 光刻机的事，是时候提上日程了，前往光电技术研究所！（1/2）

东芯电池的事，总算告一段落了。

江辰靠在图书馆老位置的椅背上，长长地吐出一口气。

唐若曦坐在他旁边，面前摊著一本《编译原理》，手里转著笔，眼睛却盯著他的侧脸。

“老辰，你这几天是不是閒下来了？”她问。

“还行。”

江辰闭著眼睛，“老赵那边基本不用我盯著了，拧德时代和比亚帝的代工產线也稳定了，第一批电池已经装车交付，后续就是按部就班爬產能。”

“那你接下来打算干嘛？”

江辰睁开眼，坐直了身子。

他看著天花板沉默了几秒，然后转过头，认真地看著唐若曦。

“光刻机的事，是时候提上日程了。”

唐若曦手里的笔停了。

她当然知道他一直在谋划这件事，从之前在梅花洞水库边跟她提起的那天起，她就知道这一天迟早会来。

“你打算怎么搞？”

江辰从背包里掏出一个厚厚的笔记本，翻到其中一页，上面密密麻麻画著一张树状图。

唐若曦凑过去看了一眼……

从“1nm光刻机”这个根节点开始，分出三个粗壮的分支：极紫外光源、超高精度物镜系统、纳米级工件台。

每个分支下面又分出密密麻麻的子节点，有的標註了“已解决”，有的標註了“部分解决”，还有的標註了“待攻克”。

“光刻机这玩意儿，说白了就是三个核心子系统。”

江辰指著那张图，“光源，负责產生极紫外光，把电路图案『刻』到晶圆上。”

“物镜系统，负责把掩模版上的图案缩小、聚焦、投射到晶圆表面，精度要求是亚纳米级別的。”

“工件台，负责承载晶圆在曝光过程中做纳米级的精密运动。”

“这三个东西，任何一个拎出来，都是工业皇冠上的明珠。”

“全世界能独立搞定其中任何一个的国家，一只手数得过来。”

“能同时搞定三个的，一个都没有……包括灯塔国。”

他顿了顿，“但我们有。”

唐若曦看著那张密密麻麻的树状图。

她知道，这人一旦认真起来，就说明他已经有了至少七八成的把握，只是还没开始动手罢了。

“光源部分。”

江辰指著第一个分支，“极紫外光本质上是个高能物理问题……用高功率雷射轰击锡滴，產生等离子体，激发出13.5纳米波长的极紫外光。”

“这玩意儿难在两个地方。”

“一个是雷射器本身，需要超高功率的二氧化碳雷射器，单个脉衝能量要好几百毫焦，重复频率要好几十千赫兹。”

“另一个是锡靶系统，锡滴的直径要控制在几十微米，发射频率要跟雷射脉衝精確同步，偏差不能超过几个微秒。”

他翻到另一页，上面画著一个复杂的光路图。

“电源系统我们已经解决了。”

“东芯电池的能量密度和瞬时放电能力，比传统鋰电池强了不止一个数量级，用来驱动高功率雷射器绰绰有余。”

“雷射器本身的核心技术，我之前刷东科院图书馆的时候，翻到过一套完整的极紫外光源设计方案……”

“从增益介质到泵浦方式，从光学谐振腔到q开关，每一个细节都有。”

“只要找到合適的代工厂，三个月之內可以做出原型机。”

唐若曦安静地听著。

她学的是计算机，对光学工程不算精通。

但每次听他讲这些的时候，她都能感受到一种说不清的踏实感。

他从不画大饼，也很少说“我试试”。

而是会告诉你第一步怎么走，第二步怎么走。

每一步的依据是什么，大概需要多长时间。

“第二个，物镜系统。”

江辰继续往下翻，“这是光刻机最核心、也是卡脖子最狠的部分。”

“极紫外光波长短，穿透力极弱，连空气都穿不透，所以整个光路系统必须在真空中运行。”

“不能用传统的透镜，只能用多层膜反射镜。”

“这种反射镜的表面粗糙度必须控制在原子级別……零点几纳米的起伏都不能有。”

“全球只有蔡司能做，而且限制出口。”

“所以这部分我们得自己搞，没捷径。”

“核心难点有两个：一个是反射镜的镀膜工艺，另一个是光学系统的装配精度。”

“镀膜的事，我之前研究了一下，用离子束溅射沉积法可以搞定，关键参数我都算好了。”

“装配精度的事，可以用我开发的一个ai模型来做自动校准，比人工装配的精度高两个数量级。”

唐若曦听到这里，终於没忍住：“你连ai自动校准的模型都写好了？”