第87章 震惊的京城，国家最高级別科技机密（1/2）

三天后，北京。

某保密会议室，气氛凝重如铁。

沙瑞金呈报的《关於汉东省崇明科技突破38nm光刻机核心技术的紧急报告》被摆在长桌中央。

国防科工局、工信部、中科院、国家大基金负责人围坐一圈，人人面色肃然。

“47项底层核心专利……绕开asml全部封锁节点……”

一位白髮老者推了推眼镜，声音微颤：“这要是真的，中国晶片產业的歷史，今天就要改写。”

会议仅持续四十分钟，结论却石破天惊：

一、列为国家最高级別科技机密（绝密·芯盾级）；

二、成立“02专项·光刻机突击组”，由中科院院士牵头；

三、赵崇明所需一切资源——人才、设备、资金、政策——全国优先保障，汉东省委全力配合。

末了，一个大领导只说了一句：

“告诉那个年轻人——国家等这一天，等了三十年，这一次，我们將领先世界！”

……

……

汉东，南湖机场。

一架军用运输机悄然降落。

舱门打开，七位白髮苍苍的老者鱼贯而出，身后跟著二十多名中青年学者，人人拎著笔记本电脑与厚重资料箱。

领头者是林振邦院士——华夏半导体物理奠基人之一，86岁，拄拐而行，眼神如炬；

其侧是周秉义教授——清华精密仪器系前主任，双工件台领域泰斗；

在旁是吴启明研究员——中科院光电所首席，浸没式光学系统权威。

他们直奔崇明科技总部，未作休整，径直来到了赵崇明的办公室。

赵崇明已在门口等候。

“你就是赵崇明？”

林振邦上下打量这个24岁的年轻人，语气不善：“听说你声称掌握了38nm浸没式光刻机全套技术？”

“是。”赵崇明平静回应。

虽然对方语气不善，但是，到底也是86岁的老大爷，而且，不夸张的说一句，这是真正的国士无双。

自己客气一点也是应该的。

林振邦问道：“你弄得这些专利，这些理论都是你弄出来的？”

“我自己也组建了一个团队！”赵崇明笑了笑。

“好！”

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周秉义一步上前，语速如电，“我问你——双工件台在500mm/s高速运动下，如何抑制纳米级振动耦合？你的磁悬浮线圈布局是几极？反馈延迟多少纳秒？”

赵崇明不假思索：“六极halbach阵列，主动阻尼+预测控制，延迟≤12ns。”

吴启明立刻接话：“浸没流体在晶圆边缘的marangoni效应如何补偿？”

“动態密封环+局部温度梯度调控，附图见白皮书第38页。”

“光学像差校正用zernike多项式到几阶？”

“36阶，实时叠代，每曝光场更新一次。”

七位老教授轮番发问，问题从材料热膨胀係数到雷射脉衝时序，从真空腔体残余气体分析到洁净室气流组织——

整整三个小时，赵崇明对答如流，无一迟疑。

林振邦盯著他，震惊了。

这小子知道的东西也太杂了吧？

杂也就算了。

关键是，每一样都还是对答如流，很深入。