第312章 不错（1/2）

他看得很仔细，目光在几组镀膜均匀性数据和表面粗糙度测量结果上停留了好一会儿。

这个区域的工作主要是对光学元件做入厂检验和定期復检，检测標准和流程都很成熟，只是工艺稳定性上还有提升的空间，但这些都依靠工程积累，如果不是从底层设计上全盘更改，那技术上是很难再有质的提升的。

从光学实验区出来，一行人穿过走廊，来到工件台联调区。

这个区域比刚才的光学实验区大了不少，几台工件台正在各自的工位上跑著不同的测试工况，雷射干涉仪的显示屏上跳动著纳米级的位移数据，空气中还飘著一股导轨润滑油和电机线圈发热混合的味道。

高长平微微抬手示意，跟在身后的负责人邓威连忙上前介绍道：

“肖教授，我是联调区的负责人邓威，那我先给您介绍一下我们目前最新的联调进展吧。”

他走到控制台前，调出了实时监控画面，上面出现一红一蓝两条位移曲线，红的是曝光台，蓝的是测量台。

两条曲线在时间轴上的交接点乾净利落，几乎没有重叠和等待间隔。

“这是我们最近刚优化的双台交替调度策略。

原来两个台子切换的时候，曝光台要等测量台全部退出曝光区之后才能进场，中间浪费的时间占了整个曝光周期的百分之十二。

我们后来把切换时序重新规划了一遍，让曝光台在测量台退出的同时就开始进场，两台子在高架轨道上擦肩而过，切换间隙就从原来的一百二十毫秒压到了十五毫秒，產能直接提升了將近十个百分点。”

他边说边在屏幕上放大了一段切换过程的位移曲线，两段弧线在交会处几乎是贴在一起的，中间那条若有似无的缝隙被他用指尖圈了出来。

“就这一小段，我们磨了快两个月，现在整机的產率已经能做到每小时两百片以上了，跟国外主流机型的差距也缩小个位数百分比了。”

肖宿看著屏幕上那两条乾净利落的位移曲线，点了点头。

这套双台交替调度的思路確实做得不错，用极短的交接间隙换取產能的线性提升，在工程调度层面已经优化到了接近理论极限了。

邓威见肖宿点头，脸上的表情更放鬆了些，又调出另一组数据。

屏幕上跳出来的是工件台在匀速扫描段的定位误差分布，一条几乎贴在地板上的平滑直线，纵坐標的误差值全程压在正负两纳米以內。

“这是我们匀速段的定位精度，”邓威的语气里带著不加掩饰的自豪，“正负两纳米以內，重复定位精度已经做到了一纳米以下。

雷射干涉仪的採样频率也提到了十千赫兹，位移解析度零点三纳米，单看静態指標和匀速段指標的话，我们已经追平了国际上同级別机型的最好水平了。”

他说著，手指在屏幕上那条误差分布曲线上从左划到右，整条曲线几乎是一条完美的平线，只在中间有一处细微的波动，幅度不超过一纳米。

“这一处波动我们排查过，是空调机组的压缩机启动时產生的地面微振动传导上来的，后来给空调机组加了隔振基座，波动就消失了。”

肖宿微微頷首。

高长平站在旁边，脸上的笑意已经藏不住了。

他虽然不是技术出身，但听了邓威这一串数据，也知道这套工件台在常规扫描性能上已经做到了国际一流水平。