第314章 顺势起飞（2/2）

他先在摘要的部分简要说明了一下现有光刻技术在光源效率和子系统协同两个维度上的瓶颈，以及新方案如何通过多束相干合成和异构耦合全局优化来绕开这些瓶颈。

正文部分则是按光源阵列设计、波前协同控制、全局耦合优化、工件台动態补偿这四个章节依次展开，每一章都附了相应的数学推导和参数边界估算。

整份文档不算长，但信息密度很高。

写完之后他把这份文档和之前那篇隱身衣的论文草稿一起打包，把高长安叫了进来。

高长安敲门进来的时候，肖宿正把两份材料从印表机里拿出来。

他把材料递给高长安，语气和平时倒没什么不同。

“这两份材料，一份是光刻机的新方案，你帮我送到科技部去。

另一份是关於隱形超材料的论文，今天帮我把课题申请了。”

高长安接过材料，习惯性地先翻开了最上面的那份。

结果翻开第一页，摘要第一句话就把他钉在了原地。

“自由电子雷射器阵列”。

他愣了一下，以为自己看错了。

可他眨了眨眼睛看去，字还是没变。

他又往下扫了一眼，各种高能词汇层出不穷：“多束相干合成”“全局协同优化”“全局耦合优化”“稀疏正则化”……

这些词他当然都知道，可他从来没想过，或许应该说，从来没有人想过，它们竟然还能被拼在同一份光刻系统的设计方案里。

他下意识地把那页纸往眼前凑了凑，从第一行开始，一个字一个字地往下移。

每多读一句，他脸上的表情就微妙地变化一点。

翻到波前协同控制那一章的时候，他的手指停在一个公式旁边，整个人像是被按了暂停键一样怔在了原地。

在这里，肖宿直接將光源、物镜、工件台三大子系统的所有自由度全部纳入了同一个运算体系，再用一种前所未见的思路逐层拆解成独立运算模態，最后，藉助图拉普拉斯矩阵谱分解的推演方式，原本各自独立、互不连通的三套运算逻辑，就此浑然融为了一个完整的整体。

三个模块，以前是你动我也动、你偏我也偏、怎么都拧不到一起，现在竟然被一个公式给捏成了同一个东西。

高长安哪怕看不懂这个算式，也还是立马明白了这条研究路线蕴藏的无上价值。

他几乎都要感觉不到自己的呼吸了。

肖宿天马行空的的构思，再加上炉火纯青的理论运用，简直让他浑身都起鸡皮疙瘩了。

如果这套方案真的能落地，华国的光刻技术就不是追赶不追赶的问题了，而是直接开闢出一条全新的道路，一跃实现领先，顺势起飞了。