第81章 露底核心图纸，誓破光刻机封锁（2/2）

苏诚趁著他们没来前，就从系统空间中搬运出来的。

四人下意识低头望去，瞬间全员僵在原地，呼吸都骤然停滯。

不知何时，苏诚身旁的地面上，层层叠叠铺了海量的高精度工程图纸，厚厚一摞又一摞。

图纸之上，全是极其精密的机械结构图、光学光路图、电路布线图、製程工艺流程图。

標註著微米级，纳米级的精准参数。

每一处细节都严谨到极致，是普通人根本看不懂的顶级工业图纸。

“这……这是？”钱晋瞪大双眼，声音都微微发颤。

苏诚字字鏗鏘，缓缓揭晓答案：“这不是单一设备图纸，是全套90nm半导体设备完整设计图纸。”

“包含193nm arf光刻机整机图纸、光学镜头组、双工件台、精密对准系统全套参数。

干法湿法兼容刻蚀机图纸、pecvd、lpcvd、pvd全系列薄膜沉积设备图纸、高能离子注入机、cmp化学机械拋光设备、全自动晶圆传输系统……

所有產线配套设备，无一遗漏，全部齐全。”

每吐出一个设备名称，四人的心臟就狠狠抽搐一下。

这些设备，每一台都是国內半导体行业梦寐以求，求而不得的核心重器。

是海外严防死守，绝对封锁的顶尖技术。

如今一整套完整图纸，就这么平铺在脚下，触手可及！

孟哲蹲下身，小心翼翼翻开最上方的光刻机核心图纸。

“太精细了……所有公差、光路校准、材料配比、组装工序，全部標註得清清楚楚，完全是可直接开模量產的最终图纸，没有任何缺漏，没有任何刪减！”

陈为军死死盯著图纸，喉咙滚动，声音乾涩：

“苏总，有了这一整套图纸，只要我们配齐精密加工车间，凑齐核心技术团队，我们完全可以自主復刻全套半导体设备，彻底摆脱海外封锁！”

“没错。”

苏诚点头，语气篤定。

“我买地之初就刻意预留了超大厂区空间，就是为了今天。

一期厂房用来量產晶片，后续二期、三期厂区。

可用来搭建精密设备智造车间，自主復刻、叠代升级我们的光刻机与全套製程设备。”

图纸齐全、工艺完整、参数精准，手握这样的底牌。

我们要是还造不出国產光刻机，做不出自主可控的半导体设备。

那华创科技，乾脆直接关门倒闭。”

语气里带著绝对的自信与底气。

会议室寂静数秒，陈光南深吸一口气，压下心底的震撼，正色开口：

“苏总，图纸是死的，人是活的。

图纸再完整，也需要顶尖的精密光学、机械、半导体工艺团队落地实现。

光刻机是工业皇冠上的明珠，涉及光学、精密机械、自动化、材料学、真空技术十几门顶尖学科，国內极度缺人。”

苏诚早有预案，顺势问道：“我问你们，目前国內，谁最精通90nm光刻机整机研发与工艺落地？”

这个问题一出，四人几乎异口同声作答。

“上海微电子！”