第15章 光刻机（2/2）

徐卫国甚至想把检测镜片面形精度的核心设备，雷射干涉仪也搞出来，奈何这东西太复杂，他也只能把技术思路写成文章提交上去，交给其他单位去做了。

（干涉仪在精密製造、光学与计量等领域是极其重要的核心设备）

要不说需求催生技术进步，一个光刻机涉及的新设备跟新工艺何止上百项？涉及的上游技术更多。在研发的过程中，也会大大的催动这些科技领域的进步。

当然，如果不是出了徐卫国这个bug，以现在华国的技术水平，就算技术路线明確，想造出第一台光刻机不知道要多少年以后了，因为他们得先拿出大半时间去打基础。

现在倒好，徐卫国的出现，直接给大家透题，把这个过程光速补上了。

不过从另一方面说，华国现在面临的时机也是千载难逢的，因为世界科技树的枝枝蔓蔓还很稀疏，以徐卫国的知识储备，还能够较为轻鬆的超越西方。

若是几十年后，那造一台光刻机涉及的新技术新工艺就不是上百项了，而是上万项，累死他也干不了所有的活。

徐卫国上前问了几人工作进度，又指导了几个遇到的问题，时间也来到了八点半。

他转身出了实验室，喊上自己的专车司机，乘著轿车出了物理所大门。

马路上，数不清的人正拿著扫帚跟铁锹在铲雪，这年头没有机械设备，全靠一双手。环卫工人肯定是忙不过来的，沿途的街道社区一般也会组织起来帮忙。

小轿车缓缓压过扫过或没扫过的路面，足足十多分钟后才到了目的地，华清大学。

徐卫国下了车，从北门进入，然后径直向学校的电光源实验室走去。

这里负责光刻机的光源，也就是高压汞灯的研发。

徐卫国走进实验室时，团队成员已经到齐了，正在进行试验。

他转了一圈，走到汞灯电极系统的试验区，问道：“试验怎么样了？”

一个青年答道：“还算顺利，钨丝螺旋已经做出来了，现在正在进行涂敷钡、鍶、钙氧化物试验，以確定最佳配比。”

汞灯的基本结构就包括电弧管、电极、外玻璃壳。其中电极是由顶端磨尖的钨杆外面套上双层钨丝螺旋，螺旋间涂敷几种金属氧化物作为电子发射材料。

徐卫国点点头，又转身走向另一间实验室。

这里正在进行的是真空封接与气体充入试验。

实验內容是將氬气与水银充入电弧管，然后封接。

实验用的氬气来自苏联，这东西倒是值得一说，因为氬气是一种很重要的惰性气体，广泛应用於工业焊接保护、照明、金属冶炼加工、半导体製造等领域，而国內目前是不能生產的，全部依赖进口。

原歷史上，氬气直到二十年后才实现国產化。

徐卫国见不得这样的重要材料受制於人，乾脆抽空將氬气的提取工艺也一股脑写出来，提交给了上级。

他现在是虱子多了不痒，反正都拿出那么多超前技术了，不差这一两项。

至於別人怎么看他这么逆天的表现，他管不著也不想管，反正以他现在的价值，別人也不至於拉他去切片研究。

就是抱著这样的摆烂心態，整个项目研发期间，徐卫国竟一口气写了超过二十篇技术方面的文章，填补了上百项国內技术空白。

当然，这都是后话了，暂且不提。