第363章 光源，工作檯，物镜系统都搞定，明年春季可出原型机？（1/2）

曹所长一一介绍：

“这位是刘工，负责高功率雷射器研发！”

“这位是陈工，负责精密光学加工！”

“这位是张工，负责超精密运动控制。”

介绍完后，曹所长搓著手，有点紧张地问：

“江院士，您这次来，具体是想跟我们合作什么方向？”

江辰从背包里拿出那个笔记本，翻到极紫外光源的那一页，推到曹所长面前。

“极紫外光源，用於1nm光刻机。”

会议室里安静了整整五秒。

曹所长盯著那张光路图，眼睛越瞪越大。

刘工凑过来看了一眼，手里的茶杯差点没端稳。

陈工和张工对视一眼，都从对方眼里看到了两个字……“离谱”。

“江......江院士。”

曹所长声音都有点抖了，“您这张图，是从哪儿来的？”

“自己画的。”

“自己画的？？？”

刘工忍不住了，“江院士，我搞了二十年高功率雷射器，这张图里的泵浦方式、增益介质的选择、光学谐振腔的设计......”

“我从来没见过这种方案！但凭我的经验，这个方案在理论上是完全可行的！而且效率比我们目前用的方案高了至少一个数量级！”

江辰点头，“对，这是我专门为光刻机光源优化的方案。”

“核心参数我都算过了，理论效率是目前主流方案的八到十倍。”

“如果实现，极紫外光源的输出功率可以突破千瓦级。”

“千瓦级？？？”

曹所长差点从椅子上弹起来，“目前全球最先进的极紫外光源，输出功率也就几百瓦！千瓦级……那光刻效率能提升多少？”

“至少一个数量级。”

江辰顿了顿，“如果光源功率达到千瓦级，再配合高灵敏度的光刻胶，1nm製程的產率可以做到跟当前主流製程相当。”

“也就是说，1nm晶片的量產成本，不会比成熟製程高太多。”

曹所长瘫在椅子上，两眼放空，嘴里喃喃自语：“1nm製程量產，成本可控......这要是做成了，东大晶片產业，至少提速十年......”

江辰合上笔记本，“三位主任，我需要光电所帮个忙。”

“光源的原型机，我提供全套设计方案和技术参数，你们负责加工、装配、测试。”

“物镜系统的镀膜和装配，也需要你们这边的超精密加工设备。”

曹所长回过神来，用力点头，

“没问题！绝对没问题！”

“我们所里所有资源，优先保障这个项目！谁有意见我直接让他来找我！”

他顿了顿，又说：“不过江院士，这个项目涉及的技术太敏感了，保密工作得做到位。”

“我知道。”

江辰点头，“所有参与人员签保密协议，核心部件分散加工，最后统一装配。”

“关键工艺环节，我亲自盯。”

“好！一言为定！”

曹所长站起来，紧紧握住江辰的手，

“江院士，我干了三十年光学工程，从来没像今天这么激动过。”

“我们东大被人卡脖子卡了这么多年，从晶片设计软体到光刻机，从eda到ip核，处处受制於人。”

“现在，终於有机会翻身了！”

江辰看著他，认真地说：“不是翻身，是领跑。”

曹所长愣了一下，然后哈哈大笑，笑得眼泪都快出来了。

“对！领跑！是领跑！”

从光电所出来，江辰没有回燕北大学，而是直接去了比亚帝在燕京的研发中心。

比亚帝的研发中心位於经济技术开发区，离燕北新能源的基地不远。

王川福早早就等在门口，看到江辰下车，笑著迎上来。

“江总，你要做工件台？太好了，设计资料带来了吗？”

“带来了。”

江辰从背包里拿出一个u盘，

“都在这里面，包括工件台的结构设计、运动控制算法、纳米级定位系统的技术参数。”

王川福接过u盘，递给旁边的老陈，“老陈，你先看看，看完给我匯报。”

老陈接过u盘，转身就往实验室跑，跑得比兔子还快。

王川福领著江辰走进会议室，泡了壶茶，两人面对面坐下。

“江总，你之前说光刻机的三大核心子系统，光源找光电所，工件台找我们，那物镜系统呢？”

“物镜系统也找光电所，镀膜和装配他们那边有超精密加工设备，可以搞定。”

“不过核心的光学设计方案和ai自动校准模型，我自己来做。”

王川福沉默了几秒，然后感慨道：

“江总，说实话，我搞了几十年工业製造，从来没见过你这种人。”

“你一个人，既懂材料学又懂光学工程，既会写ai框架又会设计电池生產线，现在连光刻机都要自己造。”

“你这脑子，到底怎么长的？”