第308章 这能算对才怪了（2/2）

高长平走在肖宿侧前方，一边穿过设备区一边道：

“陈院士是我们专项的理论顾问，干了一辈子光刻仿真了，国內这个领域的底子有一半是他铺的，罗华研究员是陈老的得意门生，光学系统设计这一块现在基本是他挑大樑，今天联调正好轮到他们组，让他给您先介绍一下情况？”

肖宿点点头，没什么意见。

看到肖宿点头，罗华有些激动的上前，走道肖宿的另一侧，从口袋里掏出雷射笔，一边走一边把几个关键工位的布局点给肖宿看。

“肖……肖教授，我……我先把我们目前的实验进度和您同步一下。”

“目前，我们这套物镜系统从设计到装调已经叠代了三轮了。

第一轮叠代是验证光路布局的可行性，那时候镜片还没到位，用的是代用品，波前质量就不用提了，基本只是验证了光路能走通。

第二轮是正式镜片到位之后，我们按设计参数做了精密装调，干涉仪测出来的波像差整体在公差范围內，但边缘视场的偏差还是比设计值要高出一截。

到第三轮，我们把边缘视场的镜片组单独拆出来重新进行了装调，结果这次边缘是好了，可是中间又偏了，来来回回调了快一年了，整体波像差就是压不到目標线以下。”

罗华的声音挺奇怪的，有点一颤一颤的，每说完一段还会下意识地往肖宿那边看一眼，直到肖宿投来一道略带疑惑的目光，他才稍稍稳住心神，说话顺畅了些。

他边说边走到物镜装调工位前，指了指六轴调整台上那个一人多高的镜筒说：

“这就是我们第三轮装调的镜筒。

您看，这是它的整个光路布局，第一组透镜负责把入射光准直聚焦，第二组是折反射镜组，负责光路摺叠和像差校正，第三组是最后的成像放大组。

现在的问题出在第二组和第三组之间。

光经过折反射镜的时候，空间相干性的均匀度被破坏了，到了第三组透镜的时候，入射光的光瞳函数已经不是设计时假设的那个均匀分布了。

我们在仿真里怎么也算不出这么大幅度的非均匀化，但每次装调完一测，数据就在那儿摆著，根本跑不掉。”

肖宿站在光学平台前，隔著洁净室的玻璃看向里面的镜筒。

他没有立刻说话，目光从第一组透镜的位置慢慢扫到第三组透镜的出口。

“仿真用的光瞳函数是均匀假设？”

“对，”罗华点头，“设计阶段默认入射光在光瞳面上是均匀分布的，这个假设在传统光学设计里是基本前提，我们也是照著这个来做的。

但实测出来的光瞳函数在边缘区域还是存在明显的衰减，中高频还有一个局部峰值。”

“这个峰值的位置稳定吗？”

罗华愣了一下，转头看向旁边负责测试的工程师。

那工程师赶紧翻了翻手里的数据记录本：

“前三次装调，峰值在视场角零点三五度附近，第四次换了一批镜片，峰值挪到了零点四一度，第五次又回到零点三六度，基本就在这个区间里晃悠。”

“那问题就不是出在镜片本身的加工精度上，”肖宿的目光从镜筒上收回来，“如果峰值的空间位置隨装调批次而漂移，那就说明它的来源不是某个固定镜片的加工缺陷，而是整个光路在某个节点上的系统性偏差被逐级放大了，这个节点应该就在光路摺叠的地方。”

他走到旁边那台用於数据分析的电脑前，罗华赶紧跟过去，调出了光瞳函数的实测曲线。

屏幕上两组数据叠在一起，一组是设计阶段的均匀分布假设，一条漂亮平滑的直线。

另一组是上次装调后实测的分布，边缘区域明显下垂，中高频段鼓起了一个小山包。

肖宿快速扫了一遍数据，在脑海中计算了一下，指著那个小山包的位置说：

“问题应该出在这儿，光路在折反射镜这里被摺叠了，相应的，空间相干性在傅立叶平面上的分布也被重新排布了。

原来均匀的光瞳函数经过这次摺叠之后，出现了与折反射镜几何形状强相关的非均匀调製。

后面的第三组透镜在设计的时候没有考虑这个调製，它默认进来的是均匀光，结果进来的不是。

这个偏差在第三组每一片透镜的装调裕度上被逐片放大，最后你测到的波像差分布就是这个放大效应的总和。”

罗华紧紧盯著屏幕上那个小山包，嘴唇动了两下，脑子里飞速地把他之前五轮装调的数据全过了一遍。

零点三五度，零点四一度，零点三六度……每一轮峰值的漂移量都恰好落在折反射镜曲率公差和装调角度公差的乘积范围之內。

所以，正如肖宿所说，不是镜片没装好，而是光走到那一步的时候，已经被摺叠给掰弯了。

“所以……我们这阵子，其实一直在调一个系统性的偏差？”

罗华的声音带著几分乾涩，还带著一丝难以置信。

“我们一直以为是镜片装调不到位的问题，每次都凭著干涉仪的测量数据，去调整下游第三组透镜的镜片参数。

原来问题根本不是出在镜片上，而是因为上游的光瞳函数在经过折反射镜摺叠后，早就变了质、失了真，不再是设计时假设的均匀分布了。”

“难怪，难怪我们之前怎么调都对不齐，怎么校都达不到標准！”

后面跟著的研究员心情也挺复杂的，原来他们一直在用一个错误的输入，去硬擬合一个正確的输出，从头到尾都搞错了方向，难怪怎么折腾都没有结果。

这能算对才怪了。