第313章 专注模式（1/2）

“你匀速段的控制算法用得不是很好吗，换向段为什么不用同样的策略？”肖宿问。

邓威苦笑了一声，说道：

“不是不想用，是换向段的受力结构完全变了。

匀速段我们用的是前馈加反馈的复合控制，前馈模型可以精確补偿导轨的摩擦力矩和驱动电机的推力波动，因为匀速段的负载变化是准静態的。

但换向段的瞬间载荷方向翻转了一百八十度，驱动电机的电磁力、导轨的摩擦力、台面的惯性力三个量同时在翻转点突变，突变的耦合时间不到五毫秒，远快於前馈模型的更新周期。

模型跟不上，反馈来不及补，尖峰就上去了。”

肖宿听完，没有立刻说话。

他低头看了一眼那几组驱动电机的电流波形，目光在换向节点处停了一下，抬起头说：

“控制算法的思路是没错的，问题在於换向过程中的源头受力变化太快，算法跟不上。

如果要解决这个问题，或许应该从换向轨跡本身去想办法。”

邓威和身后的研究员同时眼睛一亮，连忙凑上前去:“变换轨跡？如果是这样的话，我们应该……”

……

一圈转完，已经接近中午了。

高长平把肖宿送到车旁，站在车门边上又说了好一长串话，看他的眼神比早上还要热切。

肖宿还是不適应这么热情的交流，板著脸点了点头，说了句“文档这两天高长安给你们”，就弯腰上了车。

车子驶出园区大门的时候，肖宿靠在座椅上，脑子里还在转刚才在物镜装调实验室看到的那一幕。

无论是定量分析、光学设计软体，还是有限元网格收敛，虽然表面上看每一条都是具体的工程困难，但把它们放在一起，肖宿看到的却是一个更底层的共同瓶颈。

光刻物镜的波前优化、光源的相干性均匀度、工件台的换向瞬態，表面上是三个互不相干的子系统问题，但它们在数学上全卡在了同一个地方，那就是高维多变量耦合系统的全局优化。

传统光学设计的工具箱里，没有专门处理这种耦合的工具，所以每个子系统只能在自己的局部空间里反覆试凑。

局部试凑碰到耦合问题，就像一个人在一个房间里调家具的位置，但家具的另一头连在隔壁房间的墙上，他怎么调都对不齐。

即便是他刚才给罗华写的那个谱域对消方案，也只能解决单个子系统的优化效率问题。

它可以帮罗华把光瞳函数修正的计算时间从几个月压缩到几天，可以把波像差的校准精度提上去，但它改变不了一个事实，那就是这套光刻系统的整体架构，从一开始就不是为了全局协同优化而设计的。